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先進封裝(Chiplets)模組制造項目擬批準(zhǔn)公示

發(fā)布時間: 2026-02-10 15:08:43
信息來源: 南通高新區(qū)
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建設(shè)地點:南通高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)雙福路西、鐘秀東路南、金晨路東側(cè);

建設(shè)單位:制局半導(dǎo)體(南通)有限公司;

環(huán)評機構(gòu):蘇州常衛(wèi)環(huán)保科技有限公司;

項目概況:制局半導(dǎo)體(南通)有限公司擬在南通高新區(qū)雙福路西、鐘秀東路南、金晨路東側(cè)新建廠房,購置光刻機、旋涂勻膠機、自動顯影機等設(shè)備,建設(shè)先進封裝(Chiplets)模組制造項目,建成后年產(chǎn)8萬片515mm*510mmFOPLP封裝模組。本項目新增勞動定員200人,三班制,年運行8760小時。光刻膠和光敏感介電膠、丙二醇甲醚醋酸酯、異丙醇在技術(shù)上不可替代,中國電子電路行業(yè)協(xié)會出具了相關(guān)證明。項目總投資55000萬元,環(huán)保投資2595萬元,環(huán)保投資占比4.72%

主要環(huán)境影響及預(yù)防或者減輕不良環(huán)境影響的對策和措施如下:

1、大氣污染防治措施

涂膠、烘烤固化、表面改性、塑封、植球后擦拭、化鍍鎳后清洗工序及實驗室產(chǎn)生的有機廢氣(含異丙醇、甲醛、乙醛、酚類等)經(jīng)密閉管道收集,進入“干式過濾器+沸石轉(zhuǎn)輪吸附脫附+RTO”處理后由33m高排氣筒FQA-1排放。污水處理站產(chǎn)生的氨、硫化氫經(jīng)密閉頂吸及管道收集,進入“二級噴淋塔+除霧+一級活性炭”處理后由28m高排氣筒FQA-2排放。等離子清洗、電鍍、蝕刻、剝銅、蝕刻、表面處理、化鍍鎳鈀金后清洗工序及實驗室產(chǎn)生的酸性廢氣經(jīng)密閉頂吸及管道收集,進入“一級堿噴淋塔”處理后由34m高排氣筒FQA-3排放。化鍍鎳工序、實驗室產(chǎn)生的堿性廢氣經(jīng)密閉頂吸及管道收集,進入“一級酸噴淋塔”處理后由30m高排氣筒FQA-4排放。生產(chǎn)廠房有機化學(xué)品供應(yīng)間產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)頂部吸風(fēng)收集,進入“二級活性炭”處理后由28m高排氣筒FQA-5排放。生產(chǎn)廠房有機廢液暫存間產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)頂部吸風(fēng)收集,進入“二級活性炭”處理后由26m高排氣筒FQA-6排放。危廢倉庫有機廢液暫存間產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)頂部吸風(fēng)收集,進入“二級活性炭”處理后由15m高排氣筒FQA-7排放。鍋爐(低氮燃燒)燃燒廢氣經(jīng)管道收集后由30m高排氣筒FQA-8直接排放。切割成型產(chǎn)生的顆粒物、植球及SMT產(chǎn)生的錫及其化合物分別經(jīng)各自“設(shè)備自帶的除塵器”處理后集中由30m高排氣筒FQA-9排放。FQA-1非甲烷總烴、異丙醇、TVOC、甲醛、顆粒物執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/3747-2020)表3限值,酚類、乙醛、二氧化硫、氮氧化物、二噁英執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/4041-2021)表1限值,基準(zhǔn)含氧量執(zhí)行《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB37822-2019)限值;FQA-2氨、硫化氫執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)表2限值;FQA-3氟化物、氮氧化物、硫酸霧、氯化氫、磷酸霧,F(xiàn)QA-4氨及FAQ-5~7非甲烷總烴,F(xiàn)QA-9顆粒物、錫及其化合物均執(zhí)行DB32/3747-2020表3限值。FQA-8二氧化硫、顆粒物、氮氧化物、煙氣黑度執(zhí)行《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB/4385-2022)中表1燃?xì)忮仩t限值。非甲烷總烴、甲醛、氨、氯化氫、硫酸霧無組織執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/3747-2020)表4限值;酚類、乙醛、顆粒物、二氧化硫、氮氧化物、錫及其化合物、氟化物無組織執(zhí)行江蘇省《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/4041-2021)表3限值;廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放DB32/4041-2021表2限值;硫化氫、臭氣濃度執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)表2限值。

2、廢水污染防治措施

含鎳廢水經(jīng)含鎳廢水處理系統(tǒng)(pH調(diào)節(jié)+芬頓反應(yīng)+二級混凝、絮凝沉淀+多介質(zhì)過濾+精密過濾器+除鎳專用樹脂吸附)處理達(dá)標(biāo)后進入綜合廢水處理系統(tǒng)處理;含錫銀廢水經(jīng)含銀廢水處理系統(tǒng)(pH調(diào)節(jié)+二級混凝、絮凝沉淀+多介質(zhì)過濾+精密過濾器+除銀專用樹脂吸附)處理達(dá)標(biāo)后進入綜合廢水處理系統(tǒng)處理;含磷廢水經(jīng)含磷廢水處理系統(tǒng)(pH調(diào)節(jié)+二級混凝、絮凝沉淀)處理達(dá)標(biāo)后進入綜合廢水處理系統(tǒng)處理;含銅鈀金廢水經(jīng)含銅鈀金廢水處理系統(tǒng)(pH調(diào)節(jié)+混凝、絮凝沉淀)處理達(dá)標(biāo)后進入綜合廢水處理系統(tǒng)處理;有機廢水經(jīng)有機廢水處理系統(tǒng)(芬頓+氣?。┨幚磉_(dá)標(biāo)后進入綜合廢水處理系統(tǒng)處理:上述處理后的廢水與綜合廢水、初期雨水、鍋爐棄水、噴淋塔廢水、蒸汽冷凝水、光刻機冷凝水、中水回用系統(tǒng)產(chǎn)生的濃水一并進入綜合廢水處理系統(tǒng)(物化沉淀+水解酸化+接觸氧化A池+接觸氧化O池+物化沉淀)處理后接管南通溯天環(huán)??萍加邢薰荆缓鷱U水經(jīng)含氟廢水處理系統(tǒng)(pH調(diào)節(jié)+二級混凝、絮凝沉淀+濃縮+管式微濾+PH調(diào)節(jié)+精密過濾器+除氟專用樹脂吸附)處理達(dá)標(biāo)后與其余生產(chǎn)廢水一并接入南通溯天環(huán)保科技有限公司;冷卻塔排水、純水制備濃水、一般清洗廢水經(jīng)中水回用系統(tǒng)(氣浮+砂濾+活性炭濾+超濾+兩段RO反滲透膜)處理后回用至車間。生活廢水經(jīng)化糞池處理后接管益民水處理有限公司污水處理廠??傛?、總銀車間排口執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/3747-2020)表1間接排放限值;生產(chǎn)廢水總排口pH、COD、SS、氨氮、總氮、總磷、總銅、總鎳、總銀排放執(zhí)行南通溯天環(huán)??萍加邢薰緟f(xié)議接管標(biāo)準(zhǔn);總錫接管標(biāo)準(zhǔn)參照上海市地方標(biāo)準(zhǔn)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31/199-2009)表1B限值;生產(chǎn)廢水總排口的石油類、氟化物執(zhí)行DB32/3747-2020表1間接排放限值。生活污水中動植物油接管標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)表4中三級標(biāo)準(zhǔn),其余因子全部執(zhí)行南通市通州區(qū)益民水處理有限公司的設(shè)計進水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/3747-2020)中表2圓片級封裝產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)?;赜盟畼?biāo)準(zhǔn)執(zhí)行企業(yè)自制標(biāo)準(zhǔn)。

3、噪聲防治措施

噪聲源為光刻機、風(fēng)機等,通過隔聲、減振等措施,廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)3類標(biāo)準(zhǔn)。

4、固體廢物防治措施

一般工業(yè)固廢:廢膠帶、普通廢包裝材料、純水制備廢反滲透膜收集后外售。生活垃圾環(huán)衛(wèi)清運。

危險廢物:有機廢液、含銅廢液、含錫銀廢液、含鎳廢液、堿性廢液、酸性清洗廢液、廢濾網(wǎng)及濾布、廢活性炭、廢石英砂、廢UV燈管、廢EDI過濾器、廢水處理廢反滲透膜、廢超濾膜、廢樹脂、廢包裝材料(?;罚?、綜合污泥、含鎳污泥、含銅鈀金污泥、含錫銀污泥、含氟污泥、廢機油及包裝桶、含油廢抹布、含油手套、廢基板和邊角料、廢干膜和膜渣、粉塵、廢氣處理廢濾芯、廢沸石轉(zhuǎn)輪、含油廢液、RO廢蓄熱體、廢過濾棉,委托有資質(zhì)單位處置。

5、地下水、土壤污染防治措施

源頭控制、分區(qū)防滲。重點防滲區(qū)有生產(chǎn)廠房、甲類庫、廠區(qū)污水處理站(生產(chǎn)廠房內(nèi))、初期雨水池、事故應(yīng)急池等,等效黏土防滲層Mb≥6m,K≤1.0×10-7cm/s。一般防滲區(qū)有丙類庫(一般固廢區(qū))、化糞池等,等效黏土防滲層Mb≥1.5m,K≤1.0×10-7cm/s。

公示時間:202621020262月14日(5個工作日)

公眾反饋意見聯(lián)系方式:

聯(lián)系電話:0513-86028926

聯(lián)系地址:南通高新區(qū)行政審批局項目投資科(通州區(qū)政務(wù)服務(wù)中心三樓高新區(qū)服務(wù)大廳)

郵編:226300

聽證告知:依據(jù)《中華人民共和國行政許可法》自公告起五日內(nèi)申請人、利害關(guān)系人可對上述擬作出建設(shè)項目環(huán)境影響評價文件批復(fù)決定要求聽證。


(責(zé)任編輯:倪智敏)
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